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集成电路制造中微纳计量与检测技术

来源: 计测学院 作者:胡晓峰 添加日期:2019-09-16 15:58:52 阅读次数:

报告人:周维虎
  报告内容:介绍中国科学院集成电路创新研究院发展规划,集成电路制造中微纳测量技术现状及需求,集成电路制造工艺中相关微纳计量与检测技术进展。
  报告时间:9月18日15:00
  报告地点:仰仪北楼218

个人简介:
  周维虎,中国科学院微电子所研究员,光电技术研发中心主任,中国科学院大学岗位教授,博士生导师。1988年至1990年在法国Louis Pasteur大学做访问学者,2000年在合肥工业大学精密仪器系获工学博士学位,2001年4月至2003年4月在美国Wisconsin- Milwaukee大学做博士后,2003年5月至2004年7月在美国Oakland 大学做博士后,2001年至2004年担任美国Automated Precision Inc.(Maryland,USA)公司高级研究员。担任科技部科学仪器重大专项总体组专家,科技部制造基础专项总体组专家,国家02重大专项光学曝光系统总体组专家,全国光电测量标准化技术委员会秘书长,中国计量测试学会计量仪器专业委员会副主任委员,中国仪器仪表学会光谱仪器专业委员会副主任委员,华中科技大学、北航、大连理工大学、吉林大学、威尼斯游戏平台网站等高校兼职教授/博士生导师,南京航空航天大学特聘教授,《Optical Engineering》《Measurement Science and Technology》等10余份国外期刊审稿人,多次在国际会议做特邀报告(Invited Talk),多次担任国际会议分会场主席(Session Chairman)。
  欢迎全校师生参加!

计量测试工程学院
2019年9月16日


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